회전 베인 진공 펌프의 작동 원리
회전 베인 진공 펌프의 작동 원리는 다음과 같습니다. 회전 베인이 있는 전면 및 후면 스테이지 로터는 원통형 전면 및 후면 스테이지 실린더에 편심적으로 설치됩니다. 로터가 고속으로 회전할 때 로터 홈에 설치되어 자유롭게 움직일 수 있는 회전 베인은 원심력과 스프링 힘으로 인해 바깥쪽으로 밀려나고, 실린더의 상단과 내부 벽은 서로 가까워서 실린더의 수입 및 수출이 이에 의해 격리됩니다.
입구로 이어지는 부피의 일부는 로터가 회전함에 따라 점진적이고 주기적으로 감소합니다. 이런 방식으로 공기 또는 혼합 가스는 먼저 고진공 단계의 입구로 흡입된 다음 압축되어 배기 밸브를 통해 배출됩니다. 작업 과정에서 배기 압력이 배기 밸브를 열기에 충분하지 않을 때 압축 가스는 2단계로만 들어가 추가로 압축되고 마지막으로 2단계 배기 밸브를 통해 대기로 배출되어 2XZ 시리즈 회전 베인 진공 펌프의 흡입구에서 진공을 얻습니다.
배기 밸브는 일반적으로 가스 역류를 방지하기 위해 오일에 잠겨 있습니다. 2XZ 시리즈 회전 베인 진공 펌프 오일은 펌프 내부를 순환하며 윤활 및 밀봉 역할을 합니다.
2XZ 시리즈 회전 베인 진공 펌프에도 가스 밸러스트 밸브가 장착되어 있으며, 그 구조는 일반 가스 체크 밸브와 유사합니다. 펌핑 가스에 소량의 수증기가 포함되어 있는 경우 가스 밸러스트 밸브를 열어 펌프의 배기 캐비티에 공기를 주입하여 배기 캐비티의 압력을 개선하는 데 사용되므로 수증기가 펌프에서 물로 응축되지 않아 공기와 함께 배출되어 응축수에 의해 오일이 유화되는 것을 방지하여 윤활유의 수명을 연장하고 진공 펌프의 펌핑 성능을 향상시킬 수 있습니다. 가스 밸러스트 밸브를 열어 펌핑하면 윤활유가 응축수에 의해 유화되는 것을 방지할 수 있지만 진공 펌프의 최종 진공을 낮추므로 진공 펌프는 수증기 없이 순수한 공기를 펌핑한 다음 가스 밸러스트 밸브를 닫아야 합니다.
